可重复使用的聚苯乙烯圆片涂层作为PDMS薄膜生产的防粘连层
摘要( # br )聚二甲基硅氧烷( PDMS )是微流体、传感器技术等诸多领域中常用的材料。尽管PDMS的用途非常广泛,但仍然需要更简单、重复性更低的PDMS薄膜制备方法。在本工作中我们提出了一种晶圆制备技术,该技术允许多个PDMS铸件在衬底上进行,无需再处理。将聚苯乙烯薄膜旋涂在作为PDMS防粘层的晶片上。在PDMS制备前后对涂层进行了表征,整个加工过程保持不变。进一步,在涂复的圆片上制备的PDMS薄膜与较厚的PDMS基底结合,形成膜器件。该装置被演示为光学压力传感器。