可重复使用的聚苯乙烯圆片涂层作为PDMS薄膜生产的防粘连层

由 ty10086 提交于 周四, 08/26/2021 - 13:09
文章英文标题
Reusable polystyrene wafer coating as an antiadhesive layer for PDMS thin film production
正文
摘要( # br )聚二甲基硅氧烷( PDMS )是微流体、传感器技术等诸多领域中常用的材料。尽管PDMS的用途非常广泛，但仍然需要更简单、重复性更低的PDMS薄膜制备方法。在本工作中我们提出了一种晶圆制备技术，该技术允许多个PDMS铸件在衬底上进行，无需再处理。将聚苯乙烯薄膜旋涂在作为PDMS防粘层的晶片上。在PDMS制备前后对涂层进行了表征，整个加工过程保持不变。进一步，在涂复的圆片上制备的PDMS薄膜与较厚的PDMS基底结合，形成膜器件。该装置被演示为光学压力传感器。
文章内容（英文）
Abstract(#br)Polydimethylsiloxane (PDMS) is a commonly used material in many fields such as microfluidics and sensor technology. Despite its abundant usage, there is still need for easier and less repetitive methods of PDMS thin film fabrication. In this work we present a wafer preparation technique which allows multiple PDMS castings onto the substrate without the need of retreatment. A polystyrene thin film was spin coated onto the wafer which serves as a PDMS antiadhesive layer. The coating was characterized before and after PDMS preparation, remaining unchanged throughout processing. Furthermore, a PDMS thin film fabricated on the coated wafer was bonded to a thicker PDMS base yielding a membrane device. The device was demonstrated as an optical pressure sensor.
来源出处
Journal|[J]Materials LettersVolume 262, 2020.
DOI
https://doi.org/10.1016/j.matlet.2019.127045

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