变形

基于PDMS的静电驱动MEMS悬臂梁的设计与制作

ty10086 提交于 周三, 08/25/2021 - 17:22
聚合物微机电系统( MEMS )器件作为生物传感应用的新型传感器器件,具有较高的机械变形能力和灵敏度。本工作介绍了柔性PDMS衬底上静电驱动聚二甲基硅氧烷( PDMS ) MEMS悬臂梁的设计与制作。利用Taguchi方法结合COMSOL Multiphysics软件对悬臂梁的物理参数进行了分析和优化。本工作致力于开发一种简单、低成本的PDMS悬臂梁及其阵列制作工艺的新方法。该装置由金属底电极、PDMS锚头和PDMS悬臂梁作为顶电极和固定表面的PDMS本体组成。所呈现的工作是在PDMS衬底上溅射的金属层中出现开裂现象。制作工艺的新颖之处在于采用了低成本的工艺,无需精密的光刻工具或刻蚀设备。同时,该工艺允许使用替代材料作为基底(玻璃、硅片等),其中不消耗,可重复使用。然后,该器件的拉入特性使其具有电学特性。

采用部分固化的光致聚合物对全光-正方形表面进行郁金香型图案印花

ty10086 提交于 周三, 08/25/2021 - 16:02
通过纳米压印光刻技术在薄膜上图形化纳米或微结构,可制备具有疏水、疏油、防污、防冰、抗菌、低反射等性能的功能薄膜。这里,仅利用纳米压印光刻技术和聚氨酯丙烯酸酯( PUA )树脂的阻氧固化性能,通过增加表面粗糙度和变形图形形貌,在未经化学表面处理的情况下,得到了兼具疏水性和疏油性的全疏水表面。设计了一种郁金香型图案印记工艺,该工艺采用多孔聚二甲基硅氧烷( PDMS )模具,通过高氧传输制备微米级图案。在紫外光( UV )固化过程中,与氧气反应形成固化抑制层。接下来,采用PDMS垫对固化抑制层进行加压固化,对微尺度结构进行改性。最后,利用超高功率紫外光对变形花样进行最终固化。显微观察证实花纹变形为表面粗糙度增加的郁金香状,并进行接触角测量以确认全憎性。最终固化后的印迹样品与水和油的接触角分别达到169.2°和115°,从而可以用郁金香型图案印迹的方式显示出全方位的表面。