静电驱动聚二甲基硅氧烷MEMS悬臂

聚合物微机电系统( MEMS )器件作为生物传感应用的新型传感器器件，具有较高的机械变形能力和灵敏度。本工作介绍了柔性PDMS衬底上静电驱动聚二甲基硅氧烷( PDMS ) MEMS悬臂梁的设计与制作。利用Taguchi方法结合COMSOL Multiphysics软件对悬臂梁的物理参数进行了分析和优化。本工作致力于开发一种简单、低成本的PDMS悬臂梁及其阵列制作工艺的新方法。该装置由金属底电极、PDMS锚头和PDMS悬臂梁作为顶电极和固定表面的PDMS本体组成。所呈现的工作是在PDMS衬底上溅射的金属层中出现开裂现象。制作工艺的新颖之处在于采用了低成本的工艺，无需精密的光刻工具或刻蚀设备。同时，该工艺允许使用替代材料作为基底(玻璃、硅片等)，其中不消耗，可重复使用。然后，该器件的拉入特性使其具有电学特性。