设计制作了基于PDMS的静电驱动MEMS悬臂梁 由 ty10086 提交于 周三, 08/25/2021 - 17:22 标签 静电致动器 硅 微制造 悬臂 蚀刻 田口方法 变形 微传感器 聚合物微机电系统设备 传感器设备 生物传感应用 高机械变形能力 静电驱动的聚二甲基硅氧烷MEMS悬臂 柔性PDMS基板 COMSOLMultiphysics软件 具有成本效益的制造工艺 PDMS悬臂 PDMS主体 金属底电极 PDMS锚 PDMS悬臂梁 固定表面 低成本工艺 基底 基于PDMS的静电驱动MEMS悬臂梁 阅读更多 关于 设计制作了基于PDMS的静电驱动MEMS悬臂梁5 次浏览
