仿生表面

Abstract(#br)The polydimethylsiloxane (PDMS) positive replica templated twice from the excellent light trapping surface of butterfly Trogonoptera brookiana wing scales was fabricated by a simple and promising route. The exact SiO 2 negative replica was fabricated by using a synthesis method combining a sol–gel process and subsequent selective etching. Afterwards, a vacuum-aided process was introduced to make PDMS gel fill into the SiO 2 negative replica, and the PDMS gel was solidified in an oven.

摘要( # br )在薄晶圆的临时键合和脱粘过程中，要保证键合层具有可靠的粘结性能，且脱粘过程要可控。我们提出了一种基于壁虎仿生黏附结构的晶圆键合层，该键合层由碳量子点( CDs )和聚二甲基硅氧烷( PDMS )组成，表面具有单层微柱阵列。与纯PDMS制成的粘接层相比，PDMS-CDs表面可大大提高粘接强度。此外，掺杂的CDs使仿生表面对温度敏感，因此其表面附着力受温度变化的控制。随着温度的升高，表面附着力明显下降，使得脱粘成为可能。本研究在变温条件下，研究了PDMS-CDs在毫米和纳米尺度下的表面粘附性能。

具有超疏水性能的仿生表面被誉为防污技术的有效候选者。然而，物理接触时大面积掌握、图案化和图案崩溃的局限性是海洋和医学实际应用的瓶颈。本研究采用Mor Photonicics公司的自动Portis NIL600工具，通过可重复使用的中间柔性印章，实现了高长径比( 5.0 )微结构的辊-板纳米压印光刻。在聚碳酸酯( PC )和聚对苯二甲酸乙二酯( PET )箔片上，采用两种Mor Photonicics公司的紫外光固化树脂，复制了具有八条支撑体( C-RESS )微结构的微柱( PIL )和圆环。将图形质量和表面润湿性与常规的聚二甲基硅氧烷( PDMS )软光刻工艺进行比较。研究发现，R2P NIL复制的PIL和C-RESS模式的高度与模式设计的偏差分别小于6 %和5 %。此外，印迹PIL和C - RESS的表面润湿性分别为超疏水疏油型和疏水疏油型，对C - RESS的微观结构具有良好的鲁棒性。因此，R2P NIL工艺有望成为大规模抗污染C-RESS微结构制备的一种有前途的方法。

具有超疏水性能的仿生表面被誉为防污技术的有效候选者。然而，物理接触时大面积掌握、图案化和图案崩溃的局限性是海洋和医学实际应用的瓶颈。本研究利用Mor photonics公司的自动化Portis NIL600工具，采用辊-板纳米压印( R2P NIL )工艺，利用硅基主模制备的可重复使用的中间柔性印章复制高宽比( 5.0 )微结构。在聚碳酸酯( PC )和聚对苯二甲酸乙二酯( PET )箔片基片上，采用Mor Photonicics公司的两种室内紫外光固化树脂，复制了具有8条条纹支撑体( C-RESS )微结构的微柱( PIL )和圆环。将图形质量和表面润湿性与常规的聚二甲基硅氧烷( PDMS )软光刻工艺进行比较。研究发现，R2P NIL复制的PIL和C-RESS模式的高度与模式设计的偏差分别小于6 %和5 %。此外，印迹PIL和C - RESS的表面润湿性分别为超疏水疏油型和疏水疏油型，对C - RESS的微观结构具有良好的鲁棒性。因此，R2P NIL工艺有望成为大规模抗污染C-RESS微结构制备的一种有前途的方法。