采用大面积滚-板纳米压印光刻技术制备具有超疏水和疏水性的高宽比微结构。

ty10086 提交于 周三, 08/25/2021 - 16:06
文章英文标题
Fabrication of High Aspect Ratio Micro-Structures with Superhydrophobic and Oleophobic Properties by Using Large-Area Roll-to-Plate Nanoimprint Lithography.
正文
具有超疏水性能的仿生表面被誉为防污技术的有效候选者。然而,物理接触时大面积掌握、图案化和图案崩溃的局限性是海洋和医学实际应用的瓶颈。本研究利用Mor photonics公司的自动化Portis NIL600工具,采用辊-板纳米压印( R2P NIL )工艺,利用硅基主模制备的可重复使用的中间柔性印章复制高宽比( 5.0 )微结构。在聚碳酸酯( PC )和聚对苯二甲酸乙二酯( PET )箔片基片上,采用Mor Photonicics公司的两种室内紫外光固化树脂,复制了具有8条条纹支撑体( C-RESS )微结构的微柱( PIL )和圆环。将图形质量和表面润湿性与常规的聚二甲基硅氧烷( PDMS )软光刻工艺进行比较。研究发现,R2P NIL复制的PIL和C-RESS模式的高度与模式设计的偏差分别小于6 %和5 %。此外,印迹PIL和C - RESS的表面润湿性分别为超疏水疏油型和疏水疏油型,对C - RESS的微观结构具有良好的鲁棒性。因此,R2P NIL工艺有望成为大规模抗污染C-RESS微结构制备的一种有前途的方法。
文章内容(英文)
Bio-inspired surfaces with superamphiphobic properties are well known as effective candidates for antifouling technology. However, the limitation of large-area mastering, patterning and pattern collapsing upon physical contact are the bottleneck for practical utilization in marine and medical applications. In this study, a roll-to-plate nanoimprint lithography (R2P NIL) process using Morphotonics' automated Portis NIL600 tool was used to replicate high aspect ratio (5.0) micro-structures via reusable intermediate flexible stamps that were fabricated from silicon master molds. Two types of Morphotonics' in-house UV-curable resins were used to replicate a micro-pillar (PIL) and circular rings with eight stripe supporters (C-RESS) micro-structure onto polycarbonate (PC) and polyethylene terephthalate (PET) foil substrates. The pattern quality and surface wettability was compared to a conventional polydimethylsiloxane (PDMS) soft lithography process. It was found that the heights of the R2P NIL replicated PIL and C-RESS patterns deviated less than 6% and 5% from the pattern design, respectively. Moreover, the surface wettability of the imprinted PIL and C-RESS patterns was found to be superhydro- and oleophobic and hydro- and oleophobic, respectively, with good robustness for the C-RESS micro-structure. Therefore, the R2P NIL process is expected to be a promising method to fabricate robust C-RESS micro-structures for large-scale anti-biofouling application.
来源出处
Journal|[J]NanomaterialsVolume 11, Issue 2. 2021.
DOI
https://doi.org/10.3390/NANO11020339

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