微透镜阵列

Abstract(#br)In this paper, we present microlens arrays (MLA) with long focal length (in millimeter range) based on thermal reflow process. The focal length of microlens is usually in the same order of lens diameter or several hundred microns. To extend focal length, we made a photoresist (SU-8) MLA covered by a Polydimethylsiloxane (PDMS) film on a glass substrate. Because the refractive index difference between PDMS and photoresist interface is lower than that of air and MLA interface, light is less bended when passing through MLA and is focused at longer distance.

Abstract(#br)An optical film with aspherical microlens array (A-MLA) by using multi-step lithography process for an OLED (Organic Light-Emitting Diode) package is fabricated, by which method the luminance of OLEDs can be enhanced. The method of design and fabrication of an A-MLA is explored in this study. In the design process, various parameters of an A-MLA such as curved profiles, layout template and dimensions of microlens are analyzed and characterized.

摘要 聚二甲基硅氧烷( PDMS )是一种硅橡胶，具有良好的柔韧性、光学透明性和生物相容性。因此，在硅玻璃等透明材料上制备柔性微光学元件，可以为微流控领域的应用提供可能。我们用质子束( PBW ) ( 1.0 MeV束)在硅玻璃上制备了具有曲面的PDMS微结构。我们发现，硅玻璃上13μm厚的PDMS薄膜仅对600 nC / mm2以上的质子注量敏感，而使用硅衬底时，对4.0 nC / mm2的质子注量敏感。基于PBW过程中硅玻璃表面充电导致有效灵敏度降低的假设，采用Au溅射的方法对硅玻璃表面进行镀膜。在2.0 nC / mm2的条件下，我们可以观察到金包硅玻璃上PDMS的形成。在半透明镀金硅玻璃上制备了高度为13 μm，直径为40 μm的弯曲PDMS结构阵列。

摘要( # br )光学显微镜的发展极大地推动了生物领域的进步，为遗传学、分子生物学和生物工程技术从宏观到微观提供了杰出的观测工具。由于光学衍射极限的限制，传统光学显微镜的成像分辨率有限。最近，人们已经证明了利用微球来辅助白光照明下实现超分辨成像的能力；然而，利用这种方法，由于微球的尺寸，成像视场只有几微米。本文通过在聚二甲基硅氧烷( PDMS )薄膜中嵌入微球制备了微透镜阵列。利用该方法，我们成功地实现了多微球在亚衍射极限分辨率下的并行成像，放大倍数可达×2.59 - ×2.99，观测结果与时域有限差分( FDTD )仿真结果一致。进一步发展了两种成像模式：基于微透镜阵列的动态扫描成像模式和随机微透镜阵列区域成像叠加重建模式，以210幅图像拼接出900μm 2的表面图像。本研究结合了并行成像和动态成像的优点，增加了效率和观察范围。

本工作通过一种可行的高通量方法制备了具有微透镜阵列( MLAs )的软聚二甲基硅氧烷( PDMS )屏保器。基于非连续脱湿过程中的横向尺寸缩放效应，在单个衬底上产生了同时控制焦距( f )和数值孔径( NA )的SU-8凸MLAs。采用复制技术制备了与SU‐8 MLAs相同结构的PDMS MLAs。MLAs的接触角和其他光学参数可以根据滑动次数和横向尺寸进行大范围的调节。当MLAs直径从100 µ m减小到10 µ m时，单层MLAs曲率从0.07变化到0.17，三层MLAs曲率从0.15变化到0.31。研究了MLAs对广角有机发光二极管( OLED )封装模块发光的增强效应。研究发现，含有MLAs的PDMS薄膜可以使一个OLED的亮度提高14.13 %。制备的PDMS凹形MLAs可以作为柔性屏保护器，在提高OLED亮度的同时，保护OLEDs免受损伤，提高能源利用效率。

摘要\n本工作通过一种可行的高通量方法制备了具有微透镜阵列( MLAs )的软聚二甲基硅氧烷( PDMS )屏保器。基于非连续脱湿过程中的横向尺寸缩放效应，在单个衬底上产生了同时控制焦距( f )和数值孔径( NA )的SU-8凸MLAs。采用复制技术制备了与SU‐8 MLAs相同结构的PDMS MLAs。MLAs的接触角和其他光学参数可以根据滑动次数和横向尺寸进行大范围的调节。当MLAs直径从100 µ m减小到10 µ m时，单层MLAs曲率从0.07变化到0.17，三层MLAs曲率从0.15变化到0.31。研究了MLAs对广角有机发光二极管( OLED )封装模块发光的增强效应。研究发现，含有MLAs的PDMS薄膜可以使一个OLED的亮度提高14.13 %。制备的PDMS凹形MLAs可以作为柔性屏保护器，在提高OLED亮度的同时，保护OLEDs免受损伤，提高能源利用效率。