高频

压电微机械超声换能器( PMUT )是一种很有前途的二维阵列器件，其基频足够小(约半波长)，可以形成和接收任意的声束用于医学成像。然而，迄今为止，PMUT阵列未能结合所需的宽频带、高频率实现高轴向分辨率。本文在PMUTs中引入了聚二甲基硅氧烷( PDMS )背衬结构，在保持亚波长( λ )螺距的同时提高了器件带宽。我们在一个16 × 8阵列上实现了这种背靠背，该阵列的俯仰角为75 µ m ( 3λ / 4 )，工作频率为15 MHz。加入背衬将近一倍的带宽提高到92 % ( -6dB )，对脉冲响应灵敏度影响不大。通过拓宽换能器带宽，这种后盾可能使利用PMUT超声阵列进行高分辨率三维成像成为可能。

压电微机械超声换能器( PMUT )是一种很有前途的二维阵列器件，其基频足够小(约半波长)，可以形成和接收任意的声束用于医学成像。然而，迄今为止，PMUT阵列未能结合所需的宽频带、高频率实现高轴向分辨率。本文在PMUTs中引入了聚二甲基硅氧烷( PDMS )背衬结构，在保持亚波长( λ )螺距的同时提高了器件带宽。我们在一个16 × 8阵列上实现了这种背靠背，该阵列的俯仰角为75 µ m ( 3λ / 4 )，工作频率为15 MHz。加入背衬将近一倍的带宽提高到92 % ( -6dB )，对脉冲响应灵敏度影响不大。通过拓宽换能器带宽，这种后盾可能使利用PMUT超声阵列进行高分辨率三维成像成为可能。

我们演示了一种通过施加单轴拉伸应变来连续调谐柔性磁膜高频特性的便捷方法。在预拉伸的聚二甲基硅氧烷( PDMS )膜上磁控溅射CoFeB薄膜。由于弹性体PDMS基底与金属层之间杨氏模量的较大失配，它们呈现出自组装的周期性起皱表面结构。泊松效应引起的起皱形貌和残馀拉应力可以通过小于生长预应变的单轴拉伸应变连续调节，从而引起高频性能的变化。柔性CoFeB薄膜的初始磁导率和铁磁共振频率分别在几百和1 GHz的宽范围内可调。在数千次拉伸-松弛循环中表现出良好的重复性，没有任何明显的降低高频特性。这种柔性CoFeB薄膜具有优异的可伸缩高频性能，有望在柔性和可调谐微波器件中得到应用。