PMUT

压电微机械超声换能器( PMUT )是一种很有前途的二维阵列器件，其基频足够小(约半波长)，可以形成和接收任意的声束用于医学成像。然而，迄今为止，PMUT阵列未能结合所需的宽频带、高频率实现高轴向分辨率。本文在PMUTs中引入了聚二甲基硅氧烷( PDMS )背衬结构，在保持亚波长( λ )螺距的同时提高了器件带宽。我们在一个16 × 8阵列上实现了这种背靠背，该阵列的俯仰角为75 µ m ( 3λ / 4 )，工作频率为15 MHz。加入背衬将近一倍的带宽提高到92 % ( -6dB )，对脉冲响应灵敏度影响不大。通过拓宽换能器带宽，这种后盾可能使利用PMUT超声阵列进行高分辨率三维成像成为可能。

压电微机械超声换能器( PMUT )是一种很有前途的二维阵列器件，其基频足够小(约半波长)，可以形成和接收任意的声束用于医学成像。然而，迄今为止，PMUT阵列未能结合所需的宽频带、高频率实现高轴向分辨率。本文在PMUTs中引入了聚二甲基硅氧烷( PDMS )背衬结构，在保持亚波长( λ )螺距的同时提高了器件带宽。我们在一个16 × 8阵列上实现了这种背靠背，该阵列的俯仰角为75 µ m ( 3λ / 4 )，工作频率为15 MHz。加入背衬将近一倍的带宽提高到92 % ( -6dB )，对脉冲响应灵敏度影响不大。通过拓宽换能器带宽，这种后盾可能使利用PMUT超声阵列进行高分辨率三维成像成为可能。