亚波长结构

摘要\n阳极氧化铝( AAO )高密度蜂窝状纳米图案由于其非光刻性和优良的亚波长结构( SWS )增透( AR )性能，被广泛应用于各种高性能光电器件。本文介绍了一种基于超薄AAO的双层聚二甲基硅氧烷( PDMS )方案，通过简单的复制，得到周期为125 nm的规则三角形表面纳米柱阵列，在250 ~ 850 nm波长范围内，AR增强5 % ~ 27 %。为了研究AAO纳米结构的光提取特性，建立了氮化镓( GaN )发光模型。与裸GaN相比，低有序AAO阵列、规则阵列和高有序AAO阵列的最大AR增强量分别为20.2 %、22.0 %和23.5 %。晶粒尺寸效应进一步改善了高有序AAO阵列的AR性能，基于有效折射率的薄膜模型在AAO模式依赖表面AR分析中取得了成功。此外，通过对侧壁剖面的裁剪，由于折射率沿高度方向的平滑变化，可以得到进一步的AR增强( 39.1 % )。