在聚二甲基硅氧烷中通过双光子聚合制备亚微米聚合物波导
柔性超紧凑低损耗光波导在软光子学的发展中起着至关重要的作用。寻找合适的材料和创新的制造技术来实现低损耗的长聚合物光波导和互连已被证明具有挑战性。本文演示了以二乙烯基苯( DVB )为光聚合单体，通过双光子聚合( 2PP )在聚二甲基硅氧烷( PDMS )中制备亚微米光波导，表明商用肟酯类光引发剂Irgacure OXE02适用于引发DVB光聚合，从而形成了稳定可控的制备无缺陷、长5 cm波导的工艺。我们进一步探索了一种多道加工策略，将波导芯尺寸扩大到~ 3 μ m，以达到更好的光限制和减少串扰的目的。在这些波导中，我们测量了710nm波长下的折射率对比度为0.005，传输损耗为0.1 dB / cm。