微机械谐振器

作者提出了一种基于Ⅱ - Ⅵ化合物组成的纳米线的柔性微谐振器，用于检测外界运动引起的微小应变。将纳米线环谐振器嵌入到聚二甲基硅氧烷( PDMS )柔性体中，以提高耦合效率。本工作将CdS纳米线制备在PDMS柔性衬底上。在纤维尖的帮助下，在显微镜下操纵单根纳米线，使弯折线成环形，使凋落物重叠。这种重叠提高了耦合效率和传感器性能。环形腔直径为1 µ m，长度为75 µ m，半径为α = 10 µ m。实验演示了制作应变传感器的过程，并检测出峰值位移。这种谐振波长在拉伸柔性衬底时出现红移和线性调谐。品质因数约为2000，规整因子约为每拉伸单元80nm。该传感器结构小、灵敏度高，可集成到芯片中。这在一定程度上促进了小型化的发展。因此，本工作有利于光学操纵，进一步推广到可调谐光源。

作者提出了一种基于Ⅱ - Ⅵ化合物组成的纳米线的柔性微谐振器，用于检测外界运动引起的微小应变。将纳米线环谐振器嵌入到聚二甲基硅氧烷( PDMS )柔性体中，以提高耦合效率。本工作将CdS纳米线制备在PDMS柔性衬底上。在纤维尖的帮助下，在显微镜下操纵单根纳米线，使弯折线成环形，使凋落物重叠。这种重叠提高了耦合效率和传感器性能。环形腔有直径1µm、长度75µm、半径10µm的参数。实验演示了制作应变传感器的过程，并检测出峰值位移。这种谐振波长在柔性基底拉伸时出现红移和线性调谐。品质因数约为2000，规整因子约为每拉伸单元80 nm。该传感器结构小、灵敏度高，可集成到芯片中。这在一定程度上促进了小型化的发展。因此，本工作有利于光学操纵，进一步推广到可调谐光源。