独立执行器

采用独立的电池驱动机构，可以在不使用泵和电源等重型驱动元件的情况下制造典型的气动软微执行器。本研究制造了一种热空气操作的软式微波纹管执行器，并对执行器的独立运行进行了实验验证。热空气驱动是通过加热驱动器弹性体内部的密封腔来提高压力，从而导致弹性体的偏转。采用3D打印可溶模具技术，通过浇铸聚二甲基硅氧烷( PDMS )制备波纹管驱动器，以防止由于单层粘接而导致的传统软光刻所固有的泄漏。单独使用缠绕铜丝制造的加热器插入波纹管作动器的腔体内，共同构成热空气作动器。三维线圈加热器和波纹管允许在预定的方向上立即传热和自由移动，这对于传统的微加工是不可思议的。该驱动器的行程为2184 μ m，相当于本体的62 %，在0.55 V电压下的力为90.2 mN。该热空气驱动器采用碱性电池驱动，控制电路也实现了重复的独立运行。