微图案

Abstract(#br)This paper discusses microfabrication process for benzophenone doped polydimethylsiloxane (PDMS) using laser lithography. KrF excimer laser of 248\u003cce:hsp sp=\"0.25\"/\u003enm with 20\u003cce:hsp sp=\"0.25\"/\u003ens pulse width at repetition rate of 1\u003cce:hsp sp=\"0.25\"/\u003eHz was used for microfabrication of undoped and benzophenone doped PDMS. The doped-PDMS shows sensitivity below 365\u003cce:hsp sp=\"0.25\"/\u003enm, permitting processing under ambient light.

摘要\n柔性电子传感器能够感知和响应机械刺激，是可穿戴电子的重要组成部分。本文介绍了利用天然荷叶和游离聚吡咯/银( PPy / Ag )杂化膜的仿生微结构来设计和制备多功能传感器。传感器由三明治结构组成，包括所设计的具有仿生微图案的聚二甲基硅氧烷( PDMS )薄膜表面和导电PPy / Ag薄膜( PDMS / PPy / Ag / PDMS )层间。研究发现，聚吡咯和银纳米粒子( PPy / AgNPs )在紫外光( UV )照射下聚集，在空气/水界面形成自支撑的PPy / Ag杂化薄膜。PPy / Ag薄膜具有良好的导电性，可用于制作压力、拉伸力和弯曲力传感器。基于微图案PDMS基底的传感器显示出良好的应变片系数(

可感知和响应机械刺激的柔性电子传感器是可穿戴电子的重要组成部分。这里，我们利用天然荷叶的仿生微结构和自支撑聚吡咯/银( PPy / Ag )杂化薄膜来设计和制作多功能传感器。该传感器由三明治结构组成，包括具有仿生微图案的聚二甲基硅氧烷( PDMS )薄膜的表面和导电PPy / Ag薄膜( PDMS / PPy / Ag / PDMS )的层间，在紫外光( UV )照射下，聚吡咯和银纳米粒子( PPy / AgNPs )发生聚集，在空气/水界面形成自支撑的PPy / Ag杂化薄膜。PPy / Ag薄膜具有良好的导电性，可用于制作压力、拉伸力和弯曲力传感器。基于PDMS微图形衬底的传感器由于有效的接触面积，具有良好的应变测量因子( 18   ~   20应变≈21 )和压力灵敏度( 300   ~   400   Pa约0.58   kPa-1 )。在0 ~ 60 mA的电流检测范围内，传感器在监测手指压力、呼吸、声振和实时脉搏波等方面的应用引起了广泛关注。结果表明，基于PPy / Ag的高灵敏度传感器在可穿戴电子设备和人机设备中具有潜在的应用前景。