UV固化聚合物

用于尺寸可调的纳米结构的热和压力辅助软光刻

ty10086 提交于 周三, 08/25/2021 - 15:45
聚二甲基硅氧烷( PDMS )由于其性价比高、柔韧性好、光学透明等优点,被广泛应用于制作多尺度图案的模具材料。然而,分析和理解纳米图形在复制过程中由于机械和热输入而产生的变形是非常重要的。下面,我们对热塑性聚合物重复成型过程中PDMS模具在热和压力作用下的纳米级变形进行分析。PDMS模具纳米尺寸脊的宽度和高度随着热塑性聚合物复制次数的增加而减小。解耦实验表明,热和压力诱导PDMS模具纳米尺寸脊的宽度和高度发生了相当大的变形。通过在PDMS模具中精确控制纳米结构的变形,我们证明了在具有代表性的热塑性和紫外光固化聚合物上可以连续制备出不同尺寸的纳米结构。