嵌入式结构

摘要 利用聚焦750 keV质子微束在聚二甲基硅氧烷( PDMS )薄膜中制备了用于干涉仪应用的马赫-曾德尔( MZ )光波导。在0.3 mm × 40 mm范围内，通过机械台和扫描微束精确控制样品的位置，形成嵌入MZ波导结构。在PDMS薄膜中成功嵌入了芯径为8 μm的MZ波导，其深度为18 μm。将MZ波导与中心波长为1550 nm的红外光纤激光器耦合，利用红外摄像机的透射光强图像进行了评价。结果表明，在PDMS中嵌入MZ波导结构实现了单点光的传输，这对于基于聚合物MZ波导构建光开关电路是必要的。