光学表征和建模

摘要 采用射频磁控溅射技术在SiO2衬底上制备了由7对SiO2和TiO2交替层组成的一维多层介质薄膜。选择薄膜厚度反映650 nm附近的可见光辐射。在两个布拉格反射镜之间夹有聚二甲基硅氧烷制成的弹性微腔层。在此基础上，开发了弹性微腔的制备工艺，以调整微腔的厚度，建立微腔的表面平整度，提高样品的重现性。模拟和测量了单个布拉格反射镜和微腔的透光率。实测数据与传递矩阵法计算结果的比较表明，两者具有良好的相关性。此外，为了评估微腔作为力传感器的适用性，对微腔的透射率进行了测量。由于外加力的作用，弹性微腔厚度的变化导致腔体谐振峰的偏移与外加力成正比。