等离子体诊断

摘要\n我们采用电感耦合C4F8 / O2 / Ar混合气体等离子体对聚二甲基硅氧烷( PDMS )薄膜进行等离子体处理，以改性其表面性能。我们考察了等离子体特性与PDMS表面变化的关系，以期了解表面改性机理。通过表面能测量、原子力显微镜( AFM )和X射线光电子能谱( XPS )对PDMS薄膜的表面特性进行了详细的评价，通过接触角测量证实了等离子体处理PDMS薄膜的表面、极性和色散能随着O2气体比例的增加而增加。AFM分析表明，等离子体处理的PDMS表面粗糙度随O2气体比例的增加而增加。XPS分析证实了富C4F8等离子体中存在一个官能团CFx ( X = 1，2，3 )，富O2等离子体中存在一个官能团OH。证实可以通过控制C4F8 / O2 / Ar等离子体处理参数来控制PDMS薄膜的表面能，而在每个表面能不同的材料中应用直接转移技术所需的参数。