Ni-Zr

采用Ni-Zr合金薄膜氢敏传感器、柔性、Ni-Zr、PDMS、薄膜，通过旋涂和直流磁控溅射制备了三层$PMMA/Ni_{64}Zr_{36}/PDMS$型氢敏传感器。PDMS (聚二甲基硅氧烷)作为柔性基底，PMMA (聚甲基丙烯酸甲酯)薄膜沉积在$Ni_{64}Zr_{36}$合金层上，赋予传感器较高的氢选择性。所制备的传感器在高氢浓度( 99.9 % )下的氢传感能力和响应时间均表现出20 %的电阻变化，优于常规Pd基氢传感器，难以在高氢浓度环境下使用。在氢气浓度为5 %时，电的电阻约为1.4 %，这是一种类似于$Pd_{77}Ag_{23}$传感器的电阻。尽管采用低成本的$Ni_{64}Zr_{36}$合金作为主要传感元件，但在高浓氢气气氛下仍能获得与现有Pd传感器类似的性能。通过优化包括各层厚度和Ni-Zr合金薄膜成分的氢检测灵敏度，提出的Ni-Zr基氢传感器可以替代Pd基氢传感器。