PDMS微通道表面改性

基于液态金属的可穿戴技术是实现软皮肤柔性电子的很有前景的方法之一。这里，我们报道了一种柔性微流控装置，通过聚二甲基硅氧烷( PDMS )基板的微通道注入Galinstan液-金属合金，靶向电感-电容( LC )谐振电路进行无线功率传输和传感。PDMS微通道内部的表面采用硫酸( H2SO4 )溶液进行化学改性，使液态金属更容易流经微流控通道。通过在0 ~ 200   mm Hg范围内连续加载和卸载外压300个循环来评价电容压力传感器的机电特性。之后，对Galinstan基柔性微流控传感器的表征由LC电路组成，在高达30 %的应变范围内进行。最后，利用带有外部天线的无线传感平台对人体各种运动(如腕关节屈曲和手指运动)进行监测。机电性能证实，基于Galinstan的传感器可靠、可重复性、可重复性和灵活性，灵敏度为5  kHz / mm Hg。所提出的柔性微流控装置具有成为无线人机应用非常可靠的候选对象的潜力。