设计分析多晶硅压阻器PDMS (聚二甲基硅氧烷)微悬臂梁基MEMS力传感器 由 ty10086 提交于 周三, 08/25/2021 - 17:25 标签 MEMS Microbotics 力传感器 微悬臂梁 PDMS 多晶硅 阅读更多 关于 设计分析多晶硅压阻器PDMS (聚二甲基硅氧烷)微悬臂梁基MEMS力传感器9 次浏览