An error source in ellipsometry
Résumé\n\t\t\t\t\n\t\t\t\t\tLa mesure ellipsométrique de l\"épaisseur d\"un film microscopique de polymère (Poly-DiMéthylSiloxane: PDMS) déposé sur un substrat solide (wafer de silicium) dépend du temps d\"exposition et de la dimension de la tache éclairée. Nous avons mesuré expérimentalement l\"affinement de tels films. Cet effet peut être une source d\"erreur non négligeable dans la mesure de l\"épaisseur de films liquides microscopiques.