牺牲层

Abstract(#br)Since polydimethylsiloxane (PDMS) is notorious for its severe sorption to biological compounds and even nanoparticles, thermoplastics become a promising substrate for microdevices. Although CO 2 laser engraving is an efficient method for thermoplastic device fabrication, it accompanies with poor bonding issues due to severe bulging and large feature size determined by the diameter of laser beam.

聚二甲基硅氧烷( PDMS )因其具有较高的弹性和恢复力而被用作电容传感器的介质层，在印刷电子领域很常见。然而，采用PDMS介质层的电容传感器比采用常规微机电系统( MEMS )工艺制造的气隙结构的传感器具有更低的灵敏度。本文提出了一种利用辊对辊槽模涂层制备触摸传感器气隙结构的生产性方法。气隙是通过涂层和去除一个牺牲层形成的。制备了一种具有间隙的悬臂梁结构电容式触摸传感器：首先，在柔性衬底上，将底层电极、介质层和聚乙烯醇( PVA )牺牲层进行辊轧槽模涂。此外，间隔层被旋涂。在牺牲层和间隔层上，顶电极和结构层通过旋涂形成。然后，通过去除水中牺牲层制作气隙和悬臂结构。对悬臂结构的传感器样品进行了灵敏度、迟滞性和重复性的测试。特别地，将样品的电学性能与PDMS介质层进行了比较。实验表明，与PDMS介质层相比，悬臂梁结构的传感器样品具有明显的更高的灵敏度。