双框薄弹性体装置。
弹性体，特别是聚二甲基硅氧烷( PDMS )被广泛用作生物相容的机械柔顺基底，用于医学、生物和工程中柔软灵活的微纳系统。然而，一些应用需要很低的厚度(例如\u003c 100μm )，这使得剥离非常关键，因为很薄的弹性体变得细腻并且倾向于与载体表现出强的附着力。此外，光刻等微细加工技术使用溶胀PDMS的溶剂，引入复杂性和可能的污染，从而限制了工业可伸缩性，阻碍了许多生物医学应用。在此，我们将低附着力和矩形载体基板、粘合Kapton框架、微铣削定义的阴影掩膜和粘合中和纸框架结合起来，实现了快速、简单、绿色、无污染和可扩展的薄弹性体器件制造，同时简化了剥离和搬运。通过在低附着载体背侧微磨划线，可以进一步方便框架与阴影掩模之间的精确对准。作为概念的证明，我们在50μm厚的PDMS基底上展示表皮传感器用于测量应变、皮肤生物阻抗和心率。所提出的方法为在弹性体上直接、绿色和可扩展地制造无污染物的薄器件铺平了道路，可广泛应用。