微筛

我们研究了用软光刻和激光微加工制作的诺兰光学粘合剂81 ( NOA81 )微筛的微图案保真度。烧蚀打开复制的空洞，产生三维( 3D )微孔。我们先前证明了微盗可以通过被动抽吸来捕获细胞。流动、捕获产量和细胞存活取决于微孔几何形状的控制，必须在装置内和从装置到装置产生高度的重复性。研究了NOA81薄膜厚度、激光脉冲重复频率、脉冲个数和光束聚焦距离。对于600 ~ 1200rpm转速范围内旋涂的NOA81薄膜，脉冲数控制薄膜的破裂形成孔的孔径并主导这一过程。脉冲重复频率在50 ~ 200 Hz之间无明显影响。我们还探索了激光焦平面到基底的距离，以找到最有效的烧蚀条件。聚二甲基硅氧烷( PDMS )中NOA81微孔和倒微孔拷贝的聚焦离子束( FIB )截面图的扫描电子显微镜( SEM )显示表面拓扑光滑，碎片极小。我们的研究揭示，组合工艺允许从器件到器件具有足够大的工艺窗口进行生物研究的三维微孔质量。