温度/压力传感

双Fabry-Perot腔复合结构的温度和压力传感研究

ty10086 提交于 周三, 08/25/2021 - 16:16
为了深入分析膜片材料对法布里-珀罗干涉仪型双参数光纤传感器温度和压力灵敏度的影响,采用多重传递法分别制备了由环氧树脂AB /聚二甲基硅氧烷( PDMS )、Ecoflex0030硅橡胶/ PDMS、PDMS / Ecoflex0030硅橡胶组成的双法布里-珀罗腔。实验结果表明,在40 ~ 100℃范围内,温度灵敏度分别为528、540和1033 pm /℃;在100 ~ 400 kPa压力范围内,压力灵敏度分别为16.0、34.6和30.2 pm / kPa。该传感器具有灵敏度高、制作简单、性价比高、腔长可控等优点,适合于实际传感应用。