2.5D

本文提出了一种基于4个差动板电容的新型2.5维( 2.5D )柔性风传感器。本设计由迎风柱、两个电极层和一个支撑层组成，均由不同杨氏模量的聚二甲基硅氧烷( PDMS )制成。在每个电极层上放置一个2 mm×2 mm的铜电极阵列，形成4个平行板电容器作为敏感元件。xy平面内的风使迎风柱倾斜，使迎风侧的两个电容减小，背风侧的两个电容增大。z轴方向的风压降低了迎风柱，导致四个电容都增大。实验表明，该传感器可在xy平面全360 °范围内测量风速达23.9 m / s和风向。风速在xy平面和z轴的灵敏度分别接近4 fF·m-1·s和3 fF·m-1·s。

本文提出了一种基于4个差动板电容的新型2.5维( 2.5D )柔性风传感器。该设计由迎风柱、两个电极层和一个支撑层组成，均由不同杨氏模量的聚二甲基硅氧烷( PDMS )制成。在每个电极层上放置一个2 mm×2 mm的铜电极阵列，形成4个平行板电容器作为敏感元件。xy平面内的风使迎风柱倾斜，使迎风侧的两个电容减小，背风侧的两个电容增大。z轴方向的风压降低了迎风柱，导致四个电容都增大。实验表明，该传感器可在xy平面全360 °范围内测量风速达23.9 m / s和风向。风速在xy平面和z轴的灵敏度分别接近4 fF · m-1 · s和3 fF · m-1 · s。