温度传感

本文提出了一种基于Fano共振的高灵敏度光学传感器。该传感器由两个对称三角形枝节的金属-绝缘体-金属( MIM )波导组成，边耦合一个带枝节的方环谐振器( SRS )，利用二维有限元算法，系统地探究了MIM波导结构的传输特性。这一分析揭示了MIM波导与SRS之间的耦合作用导致了Fano共振的出现。使用聚二甲基硅氧烷( PDMS )密封谐振器后，获得了-20.3   nm / μC的优异温度灵敏度。此外，还详细研究了MIM波导的宽度、耦合距离、两个对称三角形存根之间的距离以及谐振器的几何参数对Fano谐振线的影响。优化这些结构参数，得到峰值折射率( RI )灵敏度为6000   nm / RIU，优值图( FOM )为17RIU-1，不仅有助于缩小与光纤传感器的差距，也为超高灵敏RI传感器和温度传感器的设计和应用铺平了道路。