溅射

多尺度皱纹结构由于其控制表面形貌的简单、低成本策略，被广泛应用于智能粘接、表面工程、可拉伸电子等实际应用中。本研究通过调节基底的弹性性质，展示了一种在软硬聚二甲基硅氧烷( PDMS )基底上沉积氟碳薄膜的多尺度皱纹产生的简便技术。通过改变交联温度和交联剂用量来改变基材的弹性性能。在氟碳聚合物溅射过程中，起皱结构受到基体弹性性能的强烈影响。对于刚性PDMS基底，由于沉积后双层体系的热压缩，观察到具有周期性和正弦图案的皱纹。在软PDMS基片上溅射过程中，氟碳分子通过渗入PDMS基片形成自发的层次结构。

多尺度皱纹结构由于其控制表面形貌的简单、低成本策略，被广泛应用于智能粘接、表面工程、可拉伸电子等实际应用中。本研究通过调节基底的弹性性质，展示了一种在软硬聚二甲基硅氧烷( PDMS )基底上沉积氟碳薄膜的多尺度皱纹产生的简便技术。通过改变交联温度和交联剂用量来改变基材的弹性性能。在氟碳聚合物溅射过程中，起皱结构受到基体弹性性能的强烈影响。对于刚性PDMS基底，由于沉积后双层体系的热压缩，观察到具有周期性和正弦图案的皱纹。在软PDMS基片上溅射过程中，氟碳分子通过渗透在PDMS基片上形成自发的层次结构。