基于多孔CCTO - PDMS膜的超灵敏宽范围小电容压力传感器
介电弹性体是一种非常流行的复合材料,用于不同的应用场合。钛酸铜钙( CCTO )颗粒具有较高的介电常数,而聚二甲基硅氧烷( PDMS )是一种常用的柔性弹性体,具有良好的弹性能和耐久的耐化学性质,其复合材料在压力/力传感器的制备中显示出重要而独特的特性。为了提高电容式传感器的灵敏度,人们引入了各种弹性体的微结构,但迄今为止PDMS中用于制造微结构的方法较为困难,需要特种设备或强酸碱等危险化学品,否则产生的海绵样结构稍大,不能应用于非常小的场景。本研究采用萃取法制备了具有多个孔隙率的PDMS多孔微结构,探究了不同孔隙率和孔径对电容压力传感器灵敏度的影响,可以提高电容压力传感器的灵敏度、测力范围,也适用于微小场景。此外,目前制备多孔PDMS复合膜的方法也适用于其他较薄PDMS复合膜的制备。