磁控溅射

虽然二维层状二硫化钼( MoS2 )在催化、储能、光检测等方面具有广泛的电学应用，但目前针对压阻式传感器溅射MoS2的报道较少。在本研究中，我们发现磁控管溅射MoS2在柔性衬底上的电阻在施加压力时发生了明显而有规律的变化。扫描电子显微镜( SEM )和原子力显微镜( AFM )图像显示MoS2微晶粒结构由纳米级颗粒组成，颗粒之间有沟槽。化学表征数据证实了非晶态MoS2在聚二甲基硅氧烷( PDMS )衬底上的成功生长。设计并制作了一种微厚度薄膜柔性传感器。当压力为0.46 MPa时，1.5 μ m厚聚二甲基硅氧烷( PDMS )基片的传感器表现出最佳的最大Δ R / R为70.39，压阻系数高达866.89 MPa - 1。本文提出的基于MoS2薄膜的柔性压力传感器也成功地作为可穿戴式压力传感器用于足底压力的测量，且重复性良好。结果表明，薄膜压力传感器具有良好的压阻性能和较高的灵敏度。

虽然二维层状二硫化钼( MoS2 )在催化、储能、光检测等方面具有广泛的电学应用，但目前针对压阻式传感器溅射MoS2的报道较少。在本研究中，我们发现磁控管溅射MoS2在柔性衬底上的电阻在施加压力时发生了明显而有规律的变化。扫描电子显微镜( SEM )和原子力显微镜( AFM )图像显示MoS2微晶粒结构由纳米级颗粒组成，颗粒之间有沟槽。化学表征数据证实了非晶态MoS2在聚二甲基硅氧烷( PDMS )衬底上的成功生长。设计并制作了一种微厚度薄膜柔性传感器。其中，1.5μm厚的聚二甲基硅氧烷( PDMS )衬底的传感器表现出最佳的电阻性能，在压力为0.46 MPa时，最大ΔR / R为70.39，压阻系数高达866.89 MPa-1。本文提出的基于MoS2薄膜的柔性压力传感器也成功地作为可穿戴式压力传感器用于足底压力的测量，且重复性良好。结果表明，薄膜压力传感器具有良好的压阻性能和较高的灵敏度。