刀具几何形状

如今，聚二甲基硅氧烷( PDMS )广泛应用于医疗和工业应用。在PDMS中通常采用光刻工艺来制造微通道，这种工艺遇到了制造时间和成本较高等几个限制。本研究首次通过电化学放电加工( ECDM )，考察了工具特性(距离、几何尺寸和直径)和电解液性质(温度和类型)对PDMS上创建的微通道表面质量、表面粗糙度和尺寸精度的影响。该结果说明了ECDM在光刻形成质量相近的沟道方面的能力。此外，已有研究表明，增加刀具/工件距离会导致表面粗糙度增加，同时由于颗粒行程较长，与工件表面碰撞后的能量增加，导致沟槽表面质量变差。结果表明，将上述距离从20 μ m增加到150 μ m后，表面粗糙度增加了356 %。此外，通过使用凹槽工具而不是简单工具，将在工具附近形成较厚的气膜，从而强化杂散火花，从而增加材料去除面积。进一步，电解液温度从25  ℃升高到65  ℃，表面粗糙度从0.109增加到0.140  μm。此外，减小20 %，表面粗糙度和微通道宽度分别减小33 %和3 %。

如今，聚二甲基硅氧烷( PDMS )广泛应用于医疗和工业应用。在PDMS中通常采用光刻工艺来制造微通道，这种工艺遇到了制造时间和成本较高等几个限制。本研究首次通过电化学放电加工( ECDM )，考察了工具特性(距离、几何尺寸和直径)和电解液性质(温度和类型)对PDMS上创建的微通道表面质量、表面粗糙度和尺寸精度的影响。该结果说明了ECDM在光刻形成质量相近的沟道方面的能力。此外，已有研究表明，增加刀具/工件距离会导致表面粗糙度增加，同时由于颗粒行程较长，与工件表面碰撞后的能量增加，导致沟槽表面质量变差。结果表明，将上述距离从20 μ m增加到150 μ m后，表面粗糙度增加了356 %。此外，通过使用凹槽工具而不是简单工具，将在工具附近形成较厚的气膜，从而强化杂散火花，从而增加材料去除面积。进一步，电解液温度从25  ℃升高到65  ℃，表面粗糙度从0.109增加到0.140  μm。此外，减小20 %，表面粗糙度和微通道宽度分别减小33 %和3 %。