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微波组件集成的微流体模块——从不同制造技术角度的应用综述
微流控-微波器件数量的不断增加,可以用各种优点来解释,比如器件中包含微流控元件的各种微波电路相对容易集成。为实现上述解决方案,基于环氧玻璃层合板、聚合物材料(主要是聚二甲基硅氧烷( PDMS )和聚甲基2 -甲基丙烯酸甲酯( PMMA ) )、玻璃/硅基板和低温共烧陶瓷( LTCC )的制造出现了4种发展趋势,微波微流控器件的应用领域可分为3个主要领域:介质加热、微流控器件中的微波检测和微波增强化学反应器。这样的方法可以加热或向微通道中的液体传递微波功率,以及检测其介电参数。本文对基于上述技术的示范性解决方案进行文献综述,并对每种技术的可能性、比较和示范性应用进行综述。