6轴应力张量传感器采用多面硅压阻器。
张量传感器可以通过检测物体内部的应力变化来测量肉眼看不到的物体中的变形。这类传感器的应用范围很广。例如，一个张量传感器可以通过检测材料内部的应力变化来预测建筑材料的疲劳，从而预防事故的发生。在这种情况下，需要一个能够测量张量全部9个分量的小尺寸传感器。本研究采用MEMS工艺研制了一种由高灵敏度压阻梁和悬臂梁组成的张量传感器，用于测量所有张量分量。设计的传感器尺寸为2.0 mm × 2.0 mm × 0.3 mm (长宽厚)。将传感器芯片嵌入15 mm3立方形聚二甲基硅氧烷( PDMS )弹性体中，并进行标定，验证传感器对应力张量的响应。我们证明，利用制作的传感器可以测量5 k Pa量级的6轴法向和剪切柯西应力。