深沟隔离

半导体行业污染物的有效清洗是确保电子产品良好质量的决定性因素。这里我们采用超高频声学方法对DTI结构顶部的流体进行动态润湿表征。将利用置于结构顶部的PDMS微通道建立流体的动力学，以获得尽可能接近工业过程中使用的条件。DTI结构的湿润状态是根据测得的声反射系数来确定的。